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精密加圧ヘッド(サーボプレス)

低荷重領域に強い
エアシリンダとVCMの一体型ヘッドを使った
精密加圧ヘッドユニット

  • FA

精密加圧ヘッド(サーボプレス)

特徴

■極低荷重領域(1~150N)対応
■±0.6Nの荷重制御
■2μmの位置決め精度
■シリンダによる立ち上がり高速化とVCMの高精度荷重制御の両立
■自重キャンセル機構付き。位置制御から荷重制御への切替がスムーズ

用途

■サーボプレス
■ボンディング
■各種テスト機

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仕様

受注製作品となります。お気軽にお問合せください。

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