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超精密レギュレータ(RS/RR)

圧力制御方式にローリングダイヤフラムとカプセルを使用。

超精密レギュレータ(RS/RR)

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RSシリーズ

RSシリーズ

  • FA

圧力制御方式にローリングダイヤフラムとメジャリングカプセルを採用。

RRシリーズ

RRシリーズ

  • FA

他の減圧弁より入力される外部パイロット圧により2次側圧力を可変できるエアーオペレート型の減圧弁です。

RS・M/Sシリーズ

RS・M/Sシリーズ

  • FA

ステッピングモータ駆動式の超精密減圧弁。
感度0.1%F.S.という高精度の空気圧制御が可能!

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