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RS・M/Sシリーズ

ステッピングモータ駆動式の超精密減圧弁。
感度0.1%F.S.という高精度の空気圧制御が可能!

  • FA

RS・M/Sシリーズ

特徴

■高精度制御
感度0.1%F.S.、繰り返し再現性±0.1%F.S.の高精度の空気圧制御が可能です。
■優れた特性
リリーフ特性、圧力特性、流量特性が非常に優れています。特に、リリーフ最小圧力(リリーフ感度)が0.03kPa(理論計算値)と優れています。
■優れた始動特性
長時間作動しなかった後でも、圧力を再調整する必要がありません。
■長期間の圧力安定性
圧力設定後、設定圧を長期間正確に保持します。
■高い圧力分解能
5相ステッピングモータ駆動により、1ステップの駆動で設定圧を微小に、確実に変えることができます。マイクロステップ駆動にすることで、圧力分解能は0.1kPa以下の高分解能設定が可能です。
■停電しても圧力を保持
突然の停電でも、2次圧は設定圧を保持します。

用途

■0.1kPa以下の高分解能な圧力制御が必要な用途に最適。

仕様

仕様

型式表示方法

型式表示方法

外形寸法図

外形寸法図

オプション

オプション

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