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高精度制御に対応した真空レギュレータ。配管口径:Rc1.4、3/8に対応。
■高精度制御感度0.13kPa(1mmHg)、繰り返し再現性±0.3kPa(2.2mmHg)以内の高精度の真空度制御が可能です。■優れた圧力特性1次圧変動に対して設定圧の変動1.3kPa(10mmHg)以内です。■大流量タイプ流量270 l/min(normal)まで流せますので、大流量の用途にも対応できます。■応答性良好2次側の圧力変動に対して敏感に応答します。
■高精度、大流量の真空度制御が必要な用途に最適です。
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