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アクティブ除振台

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弊社ベローズ式空気ばねを採用した高荷重タイプになります。
高除振特性と薄型化を両立。

  • FA

アクティブ除振台

特徴

■優れた応答性
レスポンスの良い薄膜ベローズと大流量アクチュエータにより,装置上で大きい荷重の移動ステージが動いた場合にも,ストローク変動が小さく抑えることが可能です。
■薄型形状
薄型ベローズ方式を採用しているため,薄型の除振装置構造になっております.FVH-2400Fでは、高さ169mm(ニュートラル時)を実現しました.その為,搭載する装置の重心を低く抑えることが可能です.

用途

■精密装置の床振動軽減
半導体製造装置、半導体検査装置、液晶露光装置、精密測定装置、精密加工機、その他精密機器等

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基本仕様(高荷重タイプ)

基本仕様(高荷重タイプ)

ベローズ式空気ばねについて

  • ダイヤフラムの製造技術を基に、非常に薄肉でありながら高い耐久性を有したベローズ式空気ばねを開発し本装置に採用しております。
  • ベローズ式空気ばねについて

制御仕様(高荷重タイプ

制御仕様(高荷重タイプ

外形寸法図

外形寸法図

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