エアシリンダ、精密レギュレータ、バルブ、流体制御機器メーカーの藤倉コンポジット

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特徴

■優れた応答性
レスポンスの良い薄膜ベローズと大流量アクチュエータにより，装置上で大きい荷重の移動ステージが動いた場合にも，ストローク変動が小さく抑えることが可能です。
■薄型形状
薄型ベローズ方式を採用しているため，薄型の除振装置構造になっております．FVH-2400Fでは、高さ169mm（ニュートラル時）を実現しました．その為，搭載する装置の重心を低く抑えることが可能です．

用途

■精密装置の床振動軽減
半導体製造装置、半導体検査装置、液晶露光装置、精密測定装置、精密加工機、その他精密機器等

基本仕様(高荷重タイプ)

ベローズ式空気ばねについて

• ダイヤフラムの製造技術を基に、非常に薄肉でありながら高い耐久性を有したベローズ式空気ばねを開発し本装置に採用しております。
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制御仕様(高荷重タイプ

外形寸法図