エアシリンダ、精密レギュレータ、バルブ、流体制御機器メーカーの藤倉コンポジット

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特徴

圧力制御方式にローリングダイヤフラムとメジャリングカプセルを利用したサーボバランス方式を用いておりますので、精密な圧力調整が可能なクリーンルーム対応超精密レギュレータです。
■クリーン仕様
部品はステンレス、フッ素ゴム、その他の部品はすべて無電解Niメッキ処理を施しておりますので、発塵が極めて少なくなっております。
■排気ポートを設備
リリーフ孔、ブリード孔に排気用の配管を接続できますので、リリーフエア、ブリードエアをクリーンルーム外に排気できます。
■マニホールド対応
マニホールド配管が可能です。
■高精度
感度0.1%F.S.、繰り返し再現性±0.1%F.S.という高精度の圧力制御が可能です。
■長期圧力安定性
一度設定した圧力は、長期間にわたってほとんど設定しません。

用途

■クリーンルーム内での精密圧力制御に最適です。

仕様

型式表示方法

特性

外形寸法図