气缸，精密调压阀，空压设备的藤仓橡胶工业

利用步进电机驱动的超精密调压阀。
可以进行灵敏度0.1%F.S.的高精度空气压力控制！

• FA

RS・M/S系列

■高精度控制
感度0.1％F.S.、反复再现性±0.1％F.S.的高精度的压力控制成为可能。
■优异的特性
泄压特性，压力特性，流量特性非常优秀。特别是泄压最小压力（泄压感度）是0.03kPa（理论计算值)的优秀特性。
■优异的始动性
长时间停止后，也不需要再调整设定压力。
■长时间的压力安定性
压力设定后，长时间保持正确的压力。
■压力分辨率极高
采用5相步进电机驱动，每1步的驱动的压力设定极微小，极微小，且精确变换。由于脉冲步进驱动，压力分辨率可以设定到0.1kPa以下。
■突然停电也可以保持设定压力
突然停电，出口压力可以保持设定值。