气缸，精密调压阀，空压设备的藤仓橡胶工业

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特徵

■高精度控制
感度0.13kPa（1mmHg）、反复再现性0.3kPa（2.2mmHg）的
可以实现高精度的真空度控制。
■优异的压力特性
针对进口压力的变动设定压力控制在1.3kPa（10mmHg）以内。
■大流量型号
因为流量可以达到270 l/min（normal），可以对应大流量的使用用途。
■良好的应答性
针对出口压力的变动敏感应答。

用途

■最适用于有必要使用高精度，大流量的真空度控制。

规格

型号表示方法

特性

外观尺寸图