超精密減圧弁RSシリーズ

圧力制御方式にローリングダイヤフラムとメジャリングカプセルを利用したサーボバランス方式を用いておりますので、精密な圧力調整が可能なクリーンルーム対応超精密レギュレータです。

クリーン仕様

部品はステンレス、フッ素ゴム、その他の部品はすべて無電解Niメッキ処理を施しておりますので、発塵が極めて少なくなっております。

マニホールド対応

マニホールド配管が可能です。

排気ポートを設備

リリーフ孔、ブリード孔に排気用の配管を接続できますので、リリーフエア、ブリードエアをクリーンルーム外に排気できます。

高精度

感度0.1%F.S.、繰り返し再現性±0.1%F.S.という高精度の圧力制御が可能です。