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低荷重領域に強いエアシリンダとVCMの一体型ヘッドを使った精密加圧ヘッドユニット
■極低荷重領域(1~150N)対応■±0.6Nの荷重制御 ■2μmの位置決め精度■シリンダによる立ち上がり高速化とVCMの高精度荷重制御の両立■自重キャンセル機構付き。位置制御から荷重制御への切替がスムーズ
■サーボプレス■ボンディング■各種テスト機
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